清洁化空气供给系统
清洁化空气供给系统
- 实现洁净室里的化学污染物质几乎不存在的超清洁空间。请咨询想去除的物质，可以提供最适合的去除装置
- 通过吸附部的自我再生处理功能来实现设备的随时点检
- 与化学过滤器不同，可以保持初期性能
- 通过与精密空调设备的组合可以做到高精度温度，湿度控制
系统特征
| 供给风量能力 | 5.0m3／min～100m3／min |
|---|---|
| 基本性能 | NH3除去率：99.8％ 有机物去除率：99.0％ NOX，SOX去除率：90.0％ |
| 温度控制精度 | ±0.1℃ |
| 海外安全规格 | 可以对应SEMI，CE，Rohs等规格 |
| 通信 | 可以对应各种通信规格 |
| 其他 | 以客户端控制方式来实现高精度控制精度 对应洁净度100级别 |
产品介绍
| 去除组合 10m3/min |
|---|
| 960(W)×770(D)×1660(H) |
| 去除组合 20m3/min（节省占地面积型） |
|---|
| 1580(W)×1200(D)×2710(H) (※搭载温湿度控制器型) 水冷式冷冻机（R-407c) |
