伸和コントロールズ株式会社
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产品信息　装置事业部
高清洁空气供给装置

  • 在无尘室内实现不存在任何化学污染物质，接近绝对清洁的超清洁空间。
    如有希望除去的污染物质，敬请咨询。我们将为您提供最适合的解决方案。
  • 因为吸附污染物质的部分具有自我再生功能，因而实现了免更换免维护，原则上可以不停机连续使用。
  • 与一般的化学物质过滤器不同，可以始终维持最佳的化学物质吸附状态。
  • 与精密空调装置配套使用可以实现高精度的温度・湿度控制。

■系统特征

供给风量能力
   5.0m3／min～100m3／min
基本性能
   NH3除去比率：99.8％
有机物质除去比率：99.0％
NOX・SOX除去比率：90.0％
温度控制精度
   ±0.1℃
安全規格
   可以满足SEMI・CE・RoHS等的规格要求。
通信方式   可以对应各种通信方式的要求。
其它   使用点检测控制方式实现高精度控制。
可以满足清洁度Class100的要求。

■产品种类

□污染物质除去系统10m3/min
960(W)×770(D)×1660(H)
□污染物质除去系统20m3/min
（复合一体型）
1580(W)×1200(D)×2710(H)
(※有温度湿度控制功能的机型)
水冷式冷冻机　R-407c