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可用于分析装置的小型化以及小型燃料电池等需要控制极其微小流量方面的应用 ■外形10的超小型电磁阀。 ■可用于内部容积小、微少流量的控制。 ■可动部采用隔离方式,腐蚀性流体控制也可以使用。 ■可实现多管化・模块化。