伸和コントロールズ株式会社
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装置事業部・清浄化空気供給装置
製品情報 装置事業部
清浄化空気供給装置
クリ−ンル−ム内にて化学汚染物質が殆ど存在しない超清浄空間を実現します。
除去したい汚染物質をご相談下さい。最適な除去装置をご提案します。
吸着部の自己再生処理機能によりメンテナンスフリ−を実現しました。
ケミカルフィルタと異なり初期性能を維持します。
精密空調装置との組み合わせで高精度な温度・湿度制御が可能です。
■システムの特徴
供給風量能力
5.0m
3
／min〜100m
3
／min
基本性能
NH3除去率：99.8％
有機物除去率：99.0％
NOX・SOX除去率：90.0％
温度制御精度
±0.1℃
海外安全規格
SEMI・CE・RoHS等の規格対応が可能。
通信
各種通信仕様対応が可能。
その他
ユ−スポイント制御方式にて高精度な制御精度を実現しています。
クラス100までのクリ−ン度に対応しています。
