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伸和コントロールズが冷却温度-70℃・冷却能力11kWのハイパワーチラー クライオハイ(CryoHigh®)を開発

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伸和コントロールズが冷却温度-70℃・冷却能力11kWのハイパワーチラー クライオハイ(CryoHigh®)を開発

最高レベルの冷却能力で半導体製造プロセスに技術革新

伸和コントロールズは、この度、世界最高レベルの冷却能力「冷却温度-70℃・冷却能力11kW」を兼ね備える新たな精密液体温調装置(チラー)の開発に成功しました。
製品名:クライオハイ(CryoHigh®)
本製品は、主に3D NAND、DRAM、ロジックなどの半導体製造プロセスをはじめとし、精密な温度制御を必要とする様々な業界の技術革新に貢献します。

クライオハイ(CryoHigh®)の特徴

1.広範囲での温度制御
本装置は、-70℃の超低温帯から+50℃以上の高温帯まで、幅広い温度制御を実現しました。

2.世界最高レベルの冷却能力
-70℃という超低温領域では、冷却能力の確保が困難とされてきました。本製品は超低温領域において11kWの冷却能力を実現しました。

3.超コンパクト
本製品は大容量の冷却能力を有しながらも、設置面積0.82㎡という超コンパクト化を実現しています。

4.独自のトリプルステージシステム
本製品はトリプルステージシステムという当社独自の構造および制御技術を採用しており、前述の超低温で大容量の冷却能力を実現しつつ、高い信頼性を誇る製品です。(特許出願済み)


この件についてのお問合せ 伸和コントロールズ株式会社 経営企画本部 人事広報部 向山 優樹
電話:044-986-1861 電子メール: info@shinwa-cont.com
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