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清浄化空気供給装置

清浄化空気供給装置

  • クリ-ンル-ム内にて化学汚染物質が殆ど存在しない超清浄空間を実現します。除去したい汚染物質をご相談下さい。最適な除去装置をご提案します。
  • 吸着部の自己再生処理機能によりメンテナンスフリ-を実現しました。
  • ケミカルフィルタと異なり初期性能を維持します。
  • 精密空調装置との組み合わせで高精度な温度・湿度制御が可能です。

システムの特徴

供給風量能力 5.0m3/min~100m3/min
基本性能 NH3除去率:99.8%
有機物除去率:99.0%
NOX・SOX除去率:90.0%
温度制御精度 ±0.1℃
海外安全規格 SEMI・CE・RoHS等の規格対応が可能。
通信 各種通信仕様対応が可能。
その他 ユ-スポイント制御方式にて高精度な制御精度を実現しています。
クラス100までのクリ-ン度に対応しています。

製品のラインナップ

除去ユニット10m3/min
960(W)×770(D)×1660(H)
除去ユニット20m3/min(省フットプリント版)
1580(W)×1200(D)×2710(H)
(※温湿度コントローラー搭載タイプ)
水冷式冷凍機 R-407c
除去ユニット20m3/min(省フットプリント版)