伸和コントロールズ株式会社
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产品信息 装置事业部
精密空调系列
承接各种顾客需求的定制产品。可针对客户装置中的气体流动状态进行调查和解析，如有要求敬请咨询。基于我们多年来积累的丰富经验，可以为您提出最适合的解决方案。
■系统的特征
供给风量能力
1.0ｍ
3
／min～65m
3
／min
温度调节范围
20℃～27℃
温度控制精度
±0.1℃
湿度调节范围
40％RH～50％RH
湿度控制精度
±0.3％RH
安全规格
可以满足SEMI・CE・Rohs等的规格要求。
通信方式
可以对应各种通信方式的要求。
其它
采用了使用点检测控制方式实现高精度控制。
可以满足清洁度Class100的要求。
■产品种类
□Ａ类 供给风量
1.0ｍ
3
／min
～3.6ｍ
3
／min
440(W)×950(D)×800(H)
水冷式冷冻机(R-404a)
□Ｂ类 供给风量
3.7m
3
／min
～14.8m
3
／min
650(W)×950(D)×1493(H)
水冷式冷冻机(R-407c)
T&H ESA 4・6・8系列
□Ｃ类 供给风量
15.0ｍ
3
／min
～ 35.0ｍ
3
／min
700(W)×950(D)×1720(H)
水冷式冷冻机(R-407c)
□Ｄ类 供给风量
35.0m
3
／min
～ 65.0m
3
／min
990(W)×990(D)×2000(H)
水冷式冷冻机(R-407c)
