菜单
HOME > 中文 > 产品信息 > 清洁化空气供给系统

清洁化空气供给系统

  • 实现洁净室里的化学污染物质几乎不存在的超清洁空间。请咨询想去除的物质,可以提供最适合的去除装置
  • 通过吸附部的自我再生处理功能来实现设备的随时点检
  • 与化学过滤器不同,可以保持初期性能
  • 通过与精密空调设备的组合可以做到高精度温度,湿度控制

系统特征

供给风量能力 5.0m3/min~100m3/min
基本性能 NH3除去率:99.8%
有机物去除率:99.0%
NOX,SOX去除率:90.0%
温度控制精度 ±0.1℃
海外安全规格 可以对应SEMI,CE,Rohs等规格
通信 可以对应各种通信规格
其他 以客户端控制方式来实现高精度控制精度
对应洁净度100级别

产品介绍

去除组合 10m3/min
960(W)×770(D)×1660(H)
去除组合 20m3/min(节省占地面积型)
1580(W)×1200(D)×2710(H)
(※搭载温湿度控制器型)
水冷式冷冻机(R-407c)
除去ユニット20m3/min(省フットプリント版)