半导体
助力半导体行业的技术
从携带电话，智能手机等通讯产品到家电，音响影像机器，液晶电视，汽车等，半导体被安装在各种机器上支撑全球各产业的发展。
■主要应用领域
- 晶圆生长工艺中的散热作用
- 涂胶・显影工艺中的温度，湿度控制
- 化学（分子状）污染物质去除
- 刻蚀工艺中的温控
- 清洗液的温度控制，去除薄雾
- 在晶圆检查，切割，测试时的温度控制
- 液晶面板刻蚀设备的温度控制等
半导体行业的产品
液体温度调节装置（高低温CHILLER）
在半导体和液晶面板制造工艺，利用冷却液的循环来控制设备内部的温度上升
精密空调・液调复合设备（STHC）
控制半导体制造工艺的温度和湿度