半导体
支撑半导体行业的技术
从手机，智能手机等通讯机器到家电，音响影像机器，液晶电视，汽车，被安装在各种机器上的半导体支撑产业的发展。我社产品在复杂的半导体制造工艺中承担着必不可少的作用
■主要应用领域
- 晶圆生长工程中的散热作用
- 涂布，现象工程中的温度，湿度控制
- 化学（分子状）污染物质去除
- 刻蚀工艺中的散热
- 清洗液的温度控制，去除薄雾
- 在晶圆的检查，切割，最终检查时的温度控制
- 液晶面板刻蚀设备的温度控制等
最适合半导体行业的产品
自我再生型去除化学污染物质装置
防止半导体制造工程中光罩，镜片上起雾
精密空调，夜调复合机
控制半导体制造工程的温度和湿度
液体温度调节装置（低高温夜调设备）
在半导体和液晶面板制造工程，利用液体循环来冷却设备内部的温度上升