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精密空调系列

迎合客户需求,承接客户订制产品。可以替客户进行客户设备内的气流分析,请咨询。可以提供以大量实绩为基础的产品方案

系统特征

供给风量能力 1.0m3/min~65m3/min
温调范围 2±0.1℃
湿条范围 40%RH~50%RH
温度控制精度 ±0.3%RH
海外安全规格 可以对应SEMI,CE,Rohs等规格
通信 可以对应各种通信规格
其他 以客户端控制方式来实现高精度控制精度
对应洁净度100的级别

产品介绍

A型供给风量
1.0m3/min~3.6m3/min
440(W)×950(D)×800(H)
水冷式冷冻机(R-404a)
タタイプA供給風量
B型供给风量
3.7m3/min~14.8m3/min
650(W)×950(D)×1493(H)
水冷式冷冻机(R-407c)
タイプB供給風量
C型供给风量
15.0m3/min~35.0m3/min
700(W)×950(D)×1720(H)
水冷式冷冻机(R-407c)
タイプC供給風量
D型供给风量
13.0m3/min~65.0m3/min
990(W)×990(D)×2000(H)
水冷式冷冻机(R-407c)
タイプD供給風量