반도체
반도체 산업을 지원하는 기술
휴대전화 및 스마트폰 등의 통신 장비부터 가전제품, AV 장비, LCD TV, 자동차에 이르기까지, 반도체는 다양한 장비에 장착되어 전 세계 산업의 발전을 지원하고 있습니다.
당사의 제품은 반도체의 복잡하고 다양한 제조 공정에서 중요하고 필수적인 역할을 담당하고 있습니다.
■주요 활용 분야
- 실리콘 웨이퍼 생성 공정에서의 열 제거
- 도포 및 현상 공정에서의 온도 및 습도 제어
- 화학적(분자상) 오염물질 제거
- 에칭 시 열 제거
- 세정액의 온도 제어, 미스트 제거
- 웨이퍼 검사, 다이싱, 최종 검사 시 온도 제어
- 액정 패널 에칭 장치의 온도 제어 ... 등
반도체 분야에 최적인 제품에 대해
액체 온도 조절 장치 (저온/고온 칠러)
반도체나 액정 제조 공정에서 장비 내부의 온도 상승을 액체 순환을 통해 냉각
정밀 공조 및 칠러 복합 장치
반도체 제조 공정에서 온도 및 습도 모두 제어