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정밀 공조기

정밀 공조기 시리즈

고객사의 사양에 맞는 맞춤형 제품을 생산. 또한 고객사의
장치 내 기류 분석도 실시하고 있으므로 상담해 주시기 바랍니다.
많은 실적을 바탕으로 한 제품을 제안드립니다.

시스템의 특징

공급 풍량 능력 1.0m3/min~65m3/min
온조 제어 정밀도 ±0.1℃
습조 범위 40%RH~50%RH
습도 제어 정확도 ±0.3%RH
해외 안전 규격 SEMI·CE·Rohs 등의 규격 대응이 가능.
통신 다양한 통신 사양 대응 가능.
기타 고정밀 제어 방식으로 고정밀도를 실현 완료
클래스100까지의 클린룸(청정도) 유지

제품의 개발 실적

A타입 공급 풍량
1.0m3/min~3.6m3/min
440(W)×950(D)×800(H)
수냉식냉동기(R-404a)
タタイプA供給風量
B타입 공급 풍량
3.7m3/min~14.8m3/min
650(W)×950(D)×1493(H)
수냉식냉동기(R-407c)
タイプB供給風量
C타입 공급 풍량
15.0m3/min~35.0m3/min
700(W)×950(D)×1720(H)
수냉식냉동기(R-407c)
タイプC供給風量
D타입 공급 풍량
13.0m3/min~65.0m3/min
990(W)×990(D)×2000(H)
수냉식냉동기(R-407c)
タイプD供給風量