칠러 시리즈

주용도로 반도체 제조에 활용되고 있는 당사의 칠러 제품입니다.
제조 상황에서 요구되는 정밀한 온도 제어를 실현했습니다.

제품의 개발실적

시리즈 명	Titania® series
채널 수	1CH / 2CH
온도제어범위	[CH-1]－20～＋80℃ [CH-2]＋30～＋100℃
쿨란트(액) 종류	SF10,HFE-7500,HT200(CH-2만 해당)
냉각능력	[CH-1]4.0kW@－10℃ [CH-2]3.5kW@35℃
냉매종류（GWP）	R448A(1387)
전원전압	3-phase 200V

시리즈 명	Narvi® series
채널 수	2CH
온도제어범위	[CH-1]－20～＋80℃ [CH-2]＋30～＋100℃
쿨란트(액) 종류	SF-10,HFE-7500,FC-40(CH-2のみ)
냉각능력	[CH-1]4.5kW@－10℃ [CH-2]4.0kW@30℃
냉매종류（GWP）	R448A(1387)
전원전압	3-phase 200V

시리즈 명	Dione® series
채널 수	2CH / 3CH
온도제어범위	[CH-1]－45～＋40℃ [CH-2]＋10～＋70℃ [CH-3]＋40～＋90℃
쿨란트(액) 종류	SF10,HT135,CF2
냉각능력	[CH-1]6kW @-40℃，9kW @-20 to 40℃ [CH-2]9kW @10 to 70℃ [CH-3]3kW @40 to 90℃
냉매종류（GWP）	R32(675)
전원전압	3-phase 400V

시리즈 명	Oberon ™ series
채널 수	1CH
온도제어범위	[CH-1]-80～＋50℃
쿨란트(액) 종류	Novec7200
냉각능력	[CH-1]10kW @-70C, 8kW @-80C, 6kW@-100C
냉매종류（GWP）	N2(0)
전원전압	3-phase 200V/400V