伸和コントロールズ株式会社

お客様のニ−ズに合わせたカスタム製品を承っております。また、お客様の装置内気流解析も行っておりますのでご相談下さい。多くの実績に基づいた製品をご提案します。

供給風量能力		1.0ｍ3／min〜65m3／min
温調範囲		20℃〜27℃
温度制御精度		±0.1℃
湿調範囲		40％RH〜50％RH
湿度制御精度		±0.3％RH
海外安全規格		SEMI・CE・Rohs等の規格対応が可能。
通信		各種通信仕様対応が可能。
その他		ユ−スポイント制御方式にて高精度な制御精度を実現しています。 クラス100までのクリ−ン度に対応しています。

□タイプＡ供給風量 1.0ｍ3／min 　 〜3.6ｍ3／min □タイプＢ供給風量 3.7m3／min 　 〜15.0m3／min □タイプＣ供給風量 15.0ｍ3／min 　〜 35.0ｍ3／min □タイプＤ供給風量 35.0m3／min 　〜 65.0m3／min