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精密空調

精密空調シリーズ

お客様のニ-ズに合わせたカスタム製品を承っております。また、お客様の装置内気流解析も行っておりますのでご相談下さい。多くの実績に基づいた製品をご提案します。

システムの特徴

供給風量能力 1.0m3/min~65m3/min
温調範囲 2±0.1℃
湿調範囲 40%RH~50%RH
湿度制御精度 ±0.3%RH
海外安全規格 SEMI・CE・Rohs等の規格対応が可能。
通信 各種通信仕様対応が可能。
その他 ユ-スポイント制御方式にて高精度な制御精度を実現しています。
クラス100までのクリ-ン度に対応しています。

製品の開発実績

タイプA供給風量
1.0m3/min~3.6m3/min
440(W)×950(D)×800(H)
水冷式冷凍機(R-404a)
タタイプA供給風量
タイプB供給風量
3.7m3/min~14.8m3/min
650(W)×950(D)×1493(H)
水冷式冷凍機(R-407c)
タイプB供給風量
タイプC供給風量
15.0m3/min~35.0m3/min
700(W)×950(D)×1720(H)
水冷式冷凍機(R-407c)
タイプC供給風量
タイプD供給風量
13.0m3/min~65.0m3/min
990(W)×990(D)×2000(H)
水冷式冷凍機(R-407c)
タイプD供給風量