精密空調
精密空調シリーズ
お客様のニ－ズに合わせたカスタム製品を承っております。また、お客様の装置内気流解析も行っておりますのでご相談下さい。多くの実績に基づいた製品をご提案します。
システムの特徴
| 供給風量能力 | 1.0ｍ3／min～65m3／min |
|---|---|
| 温調範囲 | 20℃～27℃ |
| 温調制御精度 | ±0.1℃ |
| 湿調範囲 | 40％RH～50％RH |
| 湿度制御精度 | ±0.3％RH |
| 海外安全規格 | SEMI・CE・Rohs等の規格対応が可能。 |
| 通信 | 各種通信仕様対応が可能。 |
| その他 | ユ－スポイント制御方式にて高精度な制御精度を実現しています。 クラス100までのクリ－ン度に対応しています。 |
製品の開発実績
| タイプＡ供給風量 |
|---|
| 1.0ｍ3／min～3.6ｍ3／min 440(W)×950(D)×800(H) 水冷式冷凍機(R-404a) |
| タイプＢ供給風量 |
|---|
| 3.7m3／min～14.8m3／min 650(W)×950(D)×1493(H) 水冷式冷凍機(R-407c) |
| タイプＣ供給風量 |
|---|
| 15.0ｍ3／min～35.0ｍ3／min 700(W)×950(D)×1720(H) 水冷式冷凍機(R-407c) |
| タイプD供給風量 |
|---|
| 13.0m3／min～65.0m3／min 990(W)×990(D)×2000(H) 水冷式冷凍機(R-407c) |
