マイクロバルブ

分析装置の小型化（マイクロリアクター）、小型燃料電池等の極微少流量制御可能

• 外形ファイ10の超小型電磁弁。
• 内部容積が小さく、微少流量の制御が可能です。
• 可動部はダイヤフラムで流体と分離され腐食性の流体にも使用できます。
• マニホールド化・ブロック化も可能です。