精密空調シリーズ／精密空調・液調シリーズ
主に半導体製造およびFPD製造において活用されている当社空調・液調製品です。
製造シーンで求められる精密な温度制御を実現しています。
製品の開発実績
| シリーズ名 | T&H Control system |
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| 温度制御範囲 | 20℃～27℃ |
| 温度安定性 | ±0.1℃ |
| 湿調範囲 | 40％RH～50％RH |
| 湿度制御精度 | ±0.3％RH |
| フロン種類 | R-407c |
| 電源電圧 | 3相 AC 200~230[v ］ |
| 外形寸法 | 900(W)×1675(D)×2030(H)[mm] |
| 製品の特長 | ・SEMI・CE・Rohs等の規格対応が可能 ・各種通信仕様対応が可能 ・ユ－スポイント制御方式にて高精度な制御精度を実現 ・クラス100までのクリ－ン度に対応 |
| シリーズ名 | NAIAD300 |
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| 外形寸法 | 1,200(W) × 1,380(D)× 2,380(H)[mm] |
| 冷却能力 | 300 kW |
| 風量 | 25,000 CFM（83 CFM/kW） |
| 空気温度 | In：35℃以下 Out：58℃ |
| 冷却液流量 | 1.5 LPM/kW（300 kW時：450 LPM） |
| 冷却液温度（PG25） | AALC In：60℃ AALC Out：50℃ |
| アプローチ温度 | 220 kW時：8℃以下（VR200） 275 kW時：13℃以下 300 kW時：15℃以下 |
| 冗長構成 | ファン N+1、ポンプ N+1 |
| 電源仕様 | AC415 V、50/60 Hz、125 A |
| 消費電力（COP） | VR200：38.6 kW（COP 5.8） 300kW時：40.5 kW（COP 7.4） |
| 電力使用効率 | VR200：1.175 300kW時：1.135 |