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チラー

チラーシリーズ

主に半導体製造において活用されている当社チラー製品です。
製造シーンで求められる精密な温度制御を実現しています。

製品の開発実績

シリーズ名 Titania® series
 Titania-DX2.jpg
チャンネル数 1CH / 2CH
温度制御範囲 [CH-1]-20~+80℃
[CH-2]+30~+100℃
クーラント液種 SF10,HFE-7500,HT200(CH-2のみ)
冷却能力 [CH-1]4.0kW@-10℃ [CH-2]3.5kW@35℃
フロン種類(GWP) R448A(1387)
電源電圧 3-phase 200V

 シリーズ名  Narvi® series
SWC_Narvi_3.jpg
 チャンネル数  2CH
 温度制御範囲 [CH-1]-20~+80℃
[CH-2]+30~+100℃
 クーラント液種 SF-10,HFE-7500,FC-40(CH-2のみ)
 冷却能力 [CH-1]4.5kW@-10℃ [CH-2]4.0kW@30℃ 
 フロン種類(GWP) R448A(1387) 
 電源電圧 3-phase 200V 

 シリーズ名 Dione® series
Dione-CY_最新2.png
 チャンネル数 2CH / 3CH 
 温度制御範囲 [CH-1]-45~+40℃
[CH-2]+10~+70℃
[CH-3]+40~+90℃ 
 クーラント液種 SF10,HT135,CF2 
 冷却能力 [CH-1]6kW @-40℃,9kW @-20 to 40℃
[CH-2]9kW @10 to 70℃
[CH-3]3kW @40 to 90℃ 
 フロン種類(GWP) R32(675) 
 電源電圧 3-phase 400V 

 シリーズ名 Oberon ™ series 
oberon2.jpg
 チャンネル数 1CH 
 温度制御範囲 [CH-1]-80~+50℃ 
 クーラント液種 Novec7200 
 冷却能力 [CH-1]10kW @-70C, 8kW @-80C, 6kW@-100C  
 フロン種類(GWP) N2(0) 
 電源電圧 3-phase 200V/400V