チラー
チラーシリーズ
主に半導体製造において活用されている当社チラー製品です。
製造シーンで求められる精密な温度制御を実現しています。
製品の開発実績
| シリーズ名 | Titania® series |
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| チャンネル数 | 1CH / 2CH |
| 温度制御範囲 | [CH-1]－20～＋80℃ [CH-2]＋30～＋100℃ |
| クーラント液種 | SF10,HFE-7500,HT200(CH-2のみ) |
| 冷却能力 | [CH-1]4.0kW@－10℃ [CH-2]3.5kW@35℃ |
| フロン種類（GWP） | R448A(1387) |
| 電源電圧 | 3-phase 200V |
| シリーズ名 | Narvi® series |
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| チャンネル数 | 2CH |
| 温度制御範囲 | [CH-1]－20～＋80℃ [CH-2]＋30～＋100℃ |
| クーラント液種 | SF-10,HFE-7500,FC-40(CH-2のみ) |
| 冷却能力 | [CH-1]4.5kW@－10℃ [CH-2]4.0kW@30℃ |
| フロン種類（GWP） | R448A(1387) |
| 電源電圧 | 3-phase 200V |
| シリーズ名 | Dione® series |
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| チャンネル数 | 2CH / 3CH |
| 温度制御範囲 | [CH-1]－45～＋40℃ [CH-2]＋10～＋70℃ [CH-3]＋40～＋90℃ |
| クーラント液種 | SF10,HT135,CF2 |
| 冷却能力 | [CH-1]6kW @-40℃，9kW @-20 to 40℃ [CH-2]9kW @10 to 70℃ [CH-3]3kW @40 to 90℃ |
| フロン種類（GWP） | R32(675) |
| 電源電圧 | 3-phase 400V |
| シリーズ名 | Oberon ™ series |
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| チャンネル数 | 1CH |
| 温度制御範囲 | [CH-1]-80～＋50℃ |
| クーラント液種 | Novec7200 |
| 冷却能力 | [CH-1]10kW @-70C, 8kW @-80C, 6kW@-100C |
| フロン種類（GWP） | N2(0) |
| 電源電圧 | 3-phase 200V/400V |