半導体
半導体分野を支える技術
携帯電話・スマートフォンなどの通信機器から家電、AV機器、液晶テレビ、自動車まで、半導体はさまざまな機器に組み込まれ世界の産業の発展を支えています。当社の製品は半導体の複雑で多岐にわたる製造プロセスにおいて、重要で必要不可欠な役割を担っています。
■主な活用場面
- シリコンウエハ生成工程の熱除去
- 塗布・現像工程の温・湿度制御
- 化学（分子状）汚染物質の除去
- エッチング時の熱除去
- 洗浄液の温度制御、ミスト除去
- ウエハ検査、ダイシング、最終検査時の温度制御
- 液晶パネルエッチング装置の温度制御・・・など
半導体分野に最適な製品について
液体温度調節装置（低高温チラー）
半導体や液晶の製造工程における装置内の温度上昇を液体の循環により冷却化
精密空調・チラー複合機
半導体の製造工程において温度・湿度とも制御