地球温暖化係数(GWP)ゼロ ／ 冷却温度-70℃・冷却能力９kW 伸和コントロールズが業界初、冷凍回路に自然冷媒を採用したハイパワーチラーを開発
最高レベルの冷却能力で半導体製造プロセスに技術革新
伸和コントロールズは前川製作所との共同により、地球にやさしい、かつ世界最高レベルの冷却能力を兼ね備える新たな精密液体温調装置（チラー）の開発に成功しました。
製品名：オベロン（OberonTM）
本製品は、主にCIS(CMOSイメージセンサー)、3D NAND、DRAM、ロジックなどの半導体製造プロセスをはじめとし、精密な温度制御を必要とする様々な業界の技術革新に貢献いたします。
オベロン（OberonTM）の特徴
- 業界初の地球にやさしい超低温チラー
自然冷媒（窒素）を採用した冷凍機回路を搭載し、当社独自の 制御技術により-70℃の超低温帯において９kWの冷却能力を 実現しました（特許出願中）。
- 独自の制御技術により大幅な省エネを実現
今回の自然冷媒を用いた逆ブレイトンサイクルと当社独自の制御技術により、従来の技術（蒸気圧縮式冷凍機）と比較し３０％（当社比）の省エネを実現しました。
- 省スペース化を実現
内部機器の配置を最適化。従来の自然冷媒チラーと比較し、省スペース化を実現しました（特許出願済）。類似装置と比較し５０％以上（当社比）の省フットプリント化を実現しました。
■この件についてのお問合せ 伸和コントロールズ株式会社 経営企画本部 黒木・中満
電話：044-986-1861 電子メール: info@shinwa-cont.com
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