第43回ドライプロセスシンポジウムにて採択された当社論文を公開
論文では、エッチングプロセス中にプラズマによって発生する熱をすばやく冷却するための技術「フィードフォワード温度制御技術」と、チラーがエッチング装置に液体を供給するためのポンプが、故障し停止する前に予知するための技術「AIを使った故障予知技術」について発表しています。
当学会で採択された論文について、公開いたします。
※論文内容の無断転載はお控えください。
出典：2022 International Symposium on Dry Process
■この件についてのお問合せ
伸和コントロールズ株式会社 経営企画本部 広報課 向山・田中
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